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臺式掃描電子顯微鏡具有可靠實用的特點

更新時間:2023-02-09      點擊次數(shù):937
  臺式掃描電子顯微鏡主要由電子光學系統(tǒng)、信號收集處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、圖像處理顯示和記錄系統(tǒng)、樣品室樣品臺、電源系統(tǒng)和計算機控制系統(tǒng)等組成。利用電子和物質(zhì)的相互作用,圖像為立體形象,次級電子由探測體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘枺亟饘僭陔娮邮霓Z擊下發(fā)出次級電子信號,其中包括彈性背反射電子和非彈性背反射電子。
 
  具有超高分辨率,能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理,利用二次電子成像原理,在鍍膜或不鍍膜的基礎上,低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細胞、微生物以及生物大分子等,獲得立體感強的樣品表面超微形貌結(jié)構(gòu)信息,具有高性能x射線能譜儀,能同時進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化學組分綜合分析能力。
 
  臺式掃描電子顯微鏡的末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下,電子束在試樣表面掃描。高能電子束與樣品物質(zhì)相互作用產(chǎn)生二次電子,背反射電子,X射線等信號。這些信號分別被不同的接收器接收,經(jīng)放大后用來調(diào)制熒光屏的亮度。由于經(jīng)過掃描線圈上的電流與顯像管相應偏轉(zhuǎn)線圈上的電流同步,因此,試樣表面任意點發(fā)射的信號與顯像管熒光屏上相應的亮點一一對應。
 
  也就是說,電子束打到試樣上一點時,在熒光屏上就有一亮點與之對應,其亮度與激發(fā)后的電子能量成正比。換言之,掃描電鏡是采用逐點成像的圖像分解法進行的。光點成像的順序是從左上方開始到右下方,直到圖像掃描完畢就算完成一幀圖像。

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